全波長激光束定位模塊

在激光或者光學組件等微加工設備、研究設備及醫療設備中需要精確的校準激光束\。在有的應用中,入射光的位置需要精確定位;例如在生物領域,需要激光束照到指定的細胞位置,然后進行激發。


一般的位置傳感器是光電二極管等半導體傳感器,有波長范圍及功率范圍限制。greenTeg的熱電堆傳感器可以檢測DUV-MIR之間的波長范圍,這樣可以確??梢詰糜诓煌募す庀到y。


 greenTeg的定位模塊包含4個熱電堆檢測單元,第一個原型機可以檢測到10µm。